MEMS的加速度計/陀螺儀的原理詳解-北京大學講義
[摘要]

資料主要內容:MEMS 器件的基本特點——按比例縮小、MEMS傳感器性能要求、不同傳感方式的原理、慣性MEMS期間原理與設計。

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上傳時間:2019/03/14
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